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3.2.1 潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。潔凈室(區(qū))設(shè)計(jì)時(shí),空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài))應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。
3.2.2 各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定;無(wú)要求時(shí),可按本規(guī)范附錄A確定。
3.2.3 潔凈室(區(qū))的溫度和相對(duì)濕度應(yīng)按表3.2 3確定。
3.2.4 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需純水水質(zhì)、氣體及化學(xué)品的純度和雜質(zhì)含量等應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。
3.2.5 單向流和混合流潔凈室(區(qū))的噪聲級(jí)(空態(tài))不應(yīng)大于65dB(A),非單向流潔凈室(區(qū))的噪聲級(jí)(空態(tài))不應(yīng)大于60dB(A)。
3.2.6 潔凈室(區(qū))的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)應(yīng)滿足精密設(shè)備、儀器的振動(dòng)容許值要求。無(wú)要求時(shí),可按本規(guī)范附錄C或根據(jù)其工作特性確定。